如何自己制作一台光刻机_如何自己制作一台车
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汇芯通信申请光刻多复用装置及其制作方法专利,在一片晶圆上形成...深圳市汇芯通信技术有限公司申请一项名为“一种光刻多复用装置及其制作方法”的专利，公开号CN 118915400 A,申请日期为2024 年8 月。专利摘要显示，本发明属于半导体技术领域，公开了一种光刻多复用装置及其制作方法，所述装置包括设置于光刻机载片台与曝光光源之间的水平好了吧！
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汇芯通信申请光刻多复用装置及其制作方法专利,保证光刻装置多次...深圳市汇芯通信技术有限公司申请一项名为“一种光刻多复用装置及其制作方法”的专利，公开号CN 118915399 A,申请日期为2024年8月。专利摘要显示，本发明属于半导体技术领域，公开了一种光刻多复用装置及其制作方法，所述装置包括设置于光刻机载片台与曝光光源之间的水平支后面会介绍。
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